作者：卞正岗 单位：东方国际科技传媒有限公司 出版：《智慧工厂》2010年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKBCK2010050090 DOC编号：DOCKBCK2010050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。

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