作者：周国全,孙东振,彭获然 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015040260 DOC编号：DOCCGJS2015040269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于矩形谐振腔的光学等倾干涉原理，设计了一种新型的二维微位移传感器系统，该系统通过电耦合器件(CCD)技术对等倾干涉产生的周期性干涉条纹进行光电转换，然后将电信号导入信号处理系统进行采集与存储，最后由串行通信发送至计算机，在Lab VIEW平台进行实时的监测。仿真实验结果显示，系统测量精度可以达到1μm~0.1μm.该系统采用矩形腔等倾干涉和F-P干涉相结合的方法，结构简单，成本低廉，且能够同时对二维微位移进行精确测量，可以应用于水利工程检测维护，大型建筑安全监测、精密加工中的实时控制等很多方面。

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