作者：李华,王晓浩,唐飞,张亮,杨吉,吝涛,丁力 单位：中国化学会 出版：《物理化学学报》2010年第05期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLHX2010050330 DOC编号：DOCWLHX2010050339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于微机电系统(MEMS)技术，研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm&#215；12.4mm&#215；1.2mm，由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化，经过离子化区中聚焦电极的电场作用，实现离子在进入迁移区之前的聚焦，提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属，并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合，形成迁移区的矩形通道，尺寸为10mm&#215；5mm&#215；0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒，能同时检测正负离子.采用频率为2MHz，最大电压为364V，占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品，载气流速80L&#183；h-1，补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描，得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图，验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能。

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