作者：陈柳华,林巧,李书,倪玮,吴兴坤 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2010年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2010050500 DOC编号：DOCGXXB2010050509 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种新颖的基于光栅&#177；1级干涉和相位载波(PGC)调制解调的光学加速度传感方案，并进行了样机制作和测试，其分辨率达到4&#215；10-5gn量级以上，动态范围在光学结构中不受限制，仅与惯性传感中机械结构线性范围有关。与其他类型微加速度计相比，该光学加速度传感器不但在分辨率和动态范围上均获得较大的提高，而且利用光栅干涉进行加速度传感能很好地保证干涉的稳定性，从而提高工作稳定性，降低对安装精度的要求。该方案还可以应用到微电子机械系统(MEMS)技术中，为设计高分辨率大量程微光机电系统(MOEMS)型加速度计，提供了新的思路。

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