《MEMS-SAW陀螺仪研究》PDF+DOC
作者:李泉溪,银兵
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2010年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2010110200
DOC编号:DOCCGQJ2010110209
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采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上。
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