《迈克尔逊干涉测薄膜厚度》PDF+DOC

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5. 《用多通道传感器测量薄膜厚度》PDF+DOC 本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片，该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下：...
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