《二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器(英文)》PDF+DOC
作者:张福学,赵启凤,岳萍,郭亨
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2010年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2010010110
DOC编号:DOCYDSG2010010119
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《密闭腔中自然对流气体摆特性的有限元分析》PDF+DOC2003年第12期 朴林华,张伟,张福学
《自然对流气体的摆特性及其在传感器中应用》PDF+DOC2002年第08期 张福学
《小尺寸2D密闭腔气体摆特性的有限元分析》PDF+DOC2009年第02期 朴林华,丁霞,宋佳,刘玉洁,李言杰
《密闭腔内气流的摆特性》PDF+DOC1999年第11期 张福学
《全方位水平姿态传感器》PDF+DOC1996年第10期 任宏超,张福学,吴建义
《微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究》PDF+DOC2006年第08期 王娟,徐淑静,徐爱东
《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC2011年第12期 朴林华,崔雪梅,余全刚,王星,梅传志,张保丽
《基于气体热对流的微机械倾角传感器综述》PDF+DOC2009年第04期 陈辰,韩秋实,张福学
《全方位气流式倾角传感器结构及信号处理技术》PDF+DOC2008年第10期 张伟,张福学
《动态气流式倾角传感器的结构及信号处理技术》PDF+DOC2007年第12期 张伟,张福学
论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械气体摆式加速度计和倾角传感器样机进行测试。结果表明,在±;7 g和±;25°;时,两维微机械加速度计和微机械倾角传感器的非线性度均小于1%FS。
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