《CCD图像传感器划片工艺优化》PDF+DOC
作者:谷顺虎,王艳,程顺昌,陈于伟
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2015年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2015010200
DOC编号:DOCBDTG2015010209
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针对某型CCD图像传感器划片过程中产生的静电损伤、崩边等缺陷造成器件失效,通过优化划片工艺条件,避免了静电损伤,减少了崩边缺陷,封装的成品率由48%提高至96%。
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