作者：杨力建,游卫龙,张磊,杨恒,李昕欣 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016020120 DOC编号：DOCCGQJ2016020129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点，高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实验表明：P型掺杂浓度达到7&#215；1019/cm3时，〈110〉晶向频率温度系数降低到-11.68&#215；10-6/K；N型掺杂浓度达到6&#215；1019/cm3时，〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数，在80℃左右频率温度系数有过零点。首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂，当环境温度由30℃变化到40℃时，谐振频率温度漂移仅为1.13&#215；10-7/℃。利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器。

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