作者：肖丽丹,余辉,胡朝颖,蔡华,刘清君,王平 单位：中国生物医学工程学会 出版：《中国生物医学工程学报》2010年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZSWY2010030180 DOC编号：DOCZSWY2010030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现对细胞的生长凋亡等状态和电兴奋细胞的胞外电场及胞外离子代谢的同步检测，本研究提出了将具有对应功能的叉指电极(IDE)、微电极阵列(MEA)、光寻址电位传感器(LAPS)集成在单片硅基底上，设计了细胞多功能检测的集成芯片。在集成芯片的设计上，各功能模块采用多通道布局，并且优化了电极尺寸、电极间排布、电极表面特性处理等方面的设计，以减少电极之间干扰并提高性能。在加工方面利用SiO2层同时作为MEA、IDE的绝缘层和LAPS的保护层，采用微加工技术将三种传感器融合加工于同一硅基底上。器件的评估结果显示，3种传感器的性能和相应的单独设计芯片性能相近，且满足生物相容性的要求。本集成芯片成功弥补了传统细胞传感器检测参数单一的缺陷，建立了细胞多生理参数检测的细胞传感器平台。

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