作者：沈思国,丁建宁,潘海彬,凌智勇,程广贵,范真 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2010年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2010100190 DOC编号：DOCCGQJ2010100199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性，设计出超微压压力传感器芯片结构：双岛—梁—膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析，结果表明：该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。

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