作者：李华,唐飞,王晓浩,林镇翔,张亮 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2010年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2010060080 DOC编号：DOCNMJM2010060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据高场非对称波形离子迁移谱(high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry，FAIMS)原理，设计了一种微型生化传感器.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行电离，紫外灯发射的光子能量为10.6 eV，波长116.5 nm.迁移区由上下两块紫铜金属平板电极构成，尺寸为10 mm&#215；10 mm&#215；1 mm.完成了高场非对称方波电源的设计，所输出的射频电压最大值为1 180 V，最小值为-480 V，频率189 kHz，占空比30%.以丙酮为实验样品，通过高场非对称波形离子迁移谱-质谱联用技术进行传感器的性能验证实验，实验结果表明所设计的基于FAIMS原理的生化传感器可以实现离子分离和过滤功能.基于SIMION软件对FAIMS生化传感器进行仿真分析，仿真与实验结果相符.最后利用硅片双面感应耦合等离子体(inductively coupled plasma，ICP)刻蚀和硅-玻璃键合工艺，加工出基于微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)技术的微型.....。

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