作者：王林艳,李少康 单位：西安工业大学 出版：《西安工业大学学报》2010年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXAGY2010040080 DOC编号：DOCXAGY2010040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了分析柔性谐振膈膜式微传感器在设计中的微压电复合薄板模态问题，采用近似理论方法与有限元法分别对方形压电复合薄板的模态进行了分析.推导出压电层和支撑层的势能与动能表达式，给出利用瑞利法求解一阶频率的过程.借助微系统设计开发与仿真软件，依据器件加工工艺，建立了器件三维模型.使用软件的有限元分析功能，对其进行了网格划分和模态分析，给出了一阶和二阶模态振型及模态频率.通过对仿真结果的讨论，为传感器的设计提供了借鉴。

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