作者：李琨,杜晓松,胡佳,孙萍,蒋亚东 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2010年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2010090330 DOC编号：DOCCGQJ2010090339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对FPOL敏感膜ST切石英基底双端谐振型SAW传感器的频率响应特性和敏感机理进行了理论分析。采用P矩阵级联方法与微扰理论，系统地讨论了影响传感器频率响应特性与探测灵敏度的因素。研究结果表明：在优化设计传感器器件结构的基础上，还需合理选择敏感区宽度、敏感膜材料特性及厚度，以提高探测灵敏度、降低插入损耗。给出了优化后的器件结构和敏感膜参数，可对双端谐振型SAW传感器的设计与性能分析提供重要参考。

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