作者：孙小龙 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2010年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2010080040 DOC编号：DOCYBJS2010080049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法，用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单，改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。

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