作者:李晓钰,陈向东,姚尧,谢睿 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2010年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2010080180 DOC编号:DOCCGQJ2010080189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 建立了电容临近传感器的三维仿真数学模型,用FEA对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了被测物距离、电极宽度、电极长度间隙比等对传感器灵敏度的影响,并与理论计算进行比较,结果表明:测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比,与被测物距离近似成反比。该研究对电容临近传感器的结构设计有指导意义。

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