作者：余柏林,龚汉东,王颖,余法红 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010110070 DOC编号：DOCCGJS2010110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种基于玻璃的空气质量流量传感器，该传感器具有制造工艺简单、测试范围宽和抗流体冲击能力强的特点。通过CFD软件模拟了传感器芯片在各种情况下的温度场分布，得到了流速与芯片上下游温差的关系曲线，理论分析表明基于玻璃的流量传感器最大流可测速可达10m/s。采用半导体工艺制备了基于玻璃的流量传感器，通过测试得到了芯片的输出信号电压和流速的关系曲线，在流速范围为0～10m/s时，输出信号电压没有出现饱和现象。当芯片表面掠过流速为10m/s时，测得芯片放大信号电压可达1.51V。

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