作者：金建东,郑丽,王震 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2010年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2010S10110 DOC编号：DOCHKJC2010S10119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在需要温湿度变化剧烈的环境中，湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器，本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术，研制出集成加热元件的双模块湿度传感器，可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能，具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。

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