作者：王竹萍,仲顺安,聂丹丹,刘汝卿 单位：北京理工大学 出版：《北京理工大学学报》2010年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJLG2010090260 DOC编号：DOCBJLG2010090269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度，分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理，建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响，并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比.结果表明，所建立的数学模型是合理的。

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