作者：薛士然 单位：北京航空航天大学 出版：《单片机与嵌入式系统应用》2015年第10期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDPJY2015100290 DOC编号：DOCDPJY2015100299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 过去几年，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器(sensor)和执行器(actuator)，二者之间是互补的。简单地说，MEMS传感器实现的是机械能向电能的转换，而执行器实现的是电能向机械

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