作者：耿振亚,宋国庆,张冬梅 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2010年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2010010090 DOC编号：DOCCGSJ2010010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体(SOI)压力传感器，具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点，本文说明了SOI在微电子机械系统(MEMS)技术上的实现优势，并对压力传感器SOI结构的实现工艺进行了探索性试验，完成了SOI压力传感器的设计和封装，在强调了压力传感器的测试方法的同时，对所设计的样品进行了测试。

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