作者：于留波,赵湛,方震,杜利东,丁国杰 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2010年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2010020000 DOC编号：DOCYBJS2010020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中从金属应变式压力传感器的基本理论出发，以硅弹性膜铂应变电阻压力传感器为原型，推导了圆形和方形弹性膜片上电阻的变化率(dR/R)公式。通过比较，选用方形弹性膜为压力承压膜，以优化承压膜的宽厚比为出发点，用有限元方法对不同厚度方形膜片(宽度为2 mm)进行应力分析。由硅材料的屈服应力与最大位移的限制，确定了最优的膜厚范围；根据有限元仿真的结果对压力传感器进行优化设计，对所做压力传感器芯片进行测试，在6.00&#215；104~1.06&#215；105Pa的范围内，其精度优于50 Pa。

    📙 相关资料

    1. 《一种高灵敏度无线压力传感器的研究》PDF+DOC 为解决压力传感器在密闭空间、高旋、生物体内等不适用引线的问题，设计了一种无线压力传感器。对传感器进行原理分析及结构设计，采用MEMS工艺对硅片及BF33进行加工，并搭建了谐振频率-压力测试平台，对传感器性能进行测试。压力测试范围为5~105 k Pa，在常温时的灵敏度为161.5 Hz/Pa，传感器......
    2. 《一种MEMS压力传感器测试分析》PDF+DOC MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度，样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析，判断失效样品的制造原因，通过改进工艺，制备出符合要求样品，给出达标样品测试结果。...
    3. 《互补偿型反射式光纤压力传感器的设计分析》PDF+DOC 将应变式压力传感器的弹性膜片与一种光纤位移检测装置相结合构成了一种反射式光纤压力传感器，阐述了其设计思想，并给出了一个设计实例，该互补偿型传感器可以消除环境温度、光源输出功率波动及光路损耗变化等因素的影响。...
    4. 《国内土压力传感器的研制概况》PDF+DOC 一、前言 国外对土压力传感器的研究至今已有70多年的历史，而我国对土压力传感器的研制自50年代末才开始。近30年，已有多种不同规格、不同工作原理的土压力传感器问世。尤以钢弦式和电阻应变式土压力传感器为多，其次是差动电阻式和平衡式土压力传感器。对动态土压力量测而言，有变磁阻式、压电式和电容式等几种。...
    5. 《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC 本文从理论上分析了硅剪切压阻系数的择优取向，以及在矩形、方形和圆形弹性膜片上欲获得较大剪应力，电阻条的布局原则。利用本文提供的方法，对某些膜片上的四端应变电阻所进行的布局分析与Kanda用有限差分法计算出来的布局结果基本一致。文中还提出了膜片上一些新的布局，供设计者选用。...
    6. 《一种电容应变式压力传感器的理论分析与计算》PDF+DOC 本文研究的是一种新型结构电容应变式压力传感器的理论分析与计算。作者导出具有预应力的钢制膜片的挠度方程并求出其解析解；算出在不同预应力条件下电容差值与压强差的关系。...
    7. 《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种新型高精度高温压力传感器，此压力传感器以硅片为弹性片，敏感材料为Ni-Cr合金，利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析，再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布，研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻......
    8. 《一种新型反射式光纤压力传感器的设计分析》PDF+DOC 将应变式压力传感器的弹性膜片与一种光纤位移检测装置相结合构成了一种反射式光纤压力传感器 ，阐述了其设计思想 ，并给出了一个设计实例。该互补偿型传感器可以消除环境温度、光源输出功率波动及光路损耗变化等因素的影响...
    9. 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC ANSYS作为最通用最有效的有限元软件之一，在计算数学、计算力学和计算工程科学领域都得到了的广泛的应用。本文正是利用ANSYS软件强大的有限元分析功能，对压力传感器感压膜片在一定压力下变形情况进行分析，实现感压膜片的应力分析。...
    10. 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC 讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法，用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单，改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。