《新型SnO_2/WO_3双层薄膜NO_2敏感性能研究》PDF+DOC
作者:林伟,黄世震,陈文哲
单位:哈尔滨工业大学;中国材料研究学会
出版:《材料科学与工艺》2010年第05期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCLKG2010050280
DOC编号:DOCCLKG2010050289
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采用射频磁控反应溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3双层薄膜材料,通过XRD和XPS实验研究了双层薄膜的物相结构和组份,结果表明,SnO2/WO3双层薄膜经过热处理后形成了SnWO4化合物.在此基础之上,制作了相应的NO2气体敏感薄膜传感器,研究了双层薄膜传感器的制备工艺参数及工作条件对传感器性能的影响,研究了传感器的敏感特性,包括灵敏度、选择性、响应恢复等特性.结果表明,传感器对NO2气体有较好的敏感性,对其他干扰气体不敏感。
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