《高精度电感式传感器测量系统设计》PDF+DOC
作者:郭键,董萍萍
单位:成都工具研究所
出版:《工具技术》2010年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGJJS2010060430
DOC编号:DOCGJJS2010060439
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基于对传感器测量系统精度影响因素的分析,利用数字合成、相敏检波、相位预调整技术改善了电感式传感器测量系统的精度,研制了差动式电感传感器。实验表明,利用该技术实现了高精度电感式传感器测量系统的设计,使该系统达到深亚微米测量精度。
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