作者：谢胜秋,姚东媛,张丽新,邹向光 单位：成都市计量监督检定测试院 出版：《计量与测试技术》2010年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLYS2010040170 DOC编号：DOCJLYS2010040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了在硅-蓝宝石高温压力传感器设计中，运用E型膜片弹性变形原理和传感器压阻效原理，对双E型膜片进行设计，为满足研制实际需求，采用ANSYS M echan ical模块对双膜片力学模型仿真分析，绘出膜片径向应力切向应力的线性分布，合理构建膜片结构的相关参数，将压阻元件布局在应力分布的最佳区域上，研制的传感器满量程输出≥100mV，线性度提高为≤0.01%，传感器精度&lt；0.1%。

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