作者：禹忠,李蓉,王海容,蒋庄德 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2010年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2010040140 DOC编号：DOCBDTQ2010040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对传统ARROW压力传感器耦合长度长以及耦合效率低，提出了BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构压力传感器。在外力作用下，弹性薄膜上的BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构，会因光弹效应致使BCB和SiO2两个导芯折射率变化产生输出相位差。通过有限元方法(FEM)研究硅弹性薄膜上导芯折射率的变化与应力分布关系，确定传感器的结构设计参数。使用束传播法(BPM)分析耦合结构以及压力与输出之间的关系。结果表明，该传感器无需弯曲波导即可降低器件尺寸，并实现了灵敏度为5.2&#215；10-2/kPa压力检测。

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