作者：周小岩,王文新,张晶 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010100070 DOC编号：DOCCGJS2010100079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 首先采用射频溅射在单晶硅(Si)上制备氧化锌(ZnO)薄膜，作为生长ZnO纳米棒的晶种层，再在水热条件下生长ZnO纳米棒。X射线衍射、X射线能量色散谱，扫描电镜及室温光致发光谱对样品的物相结构、成分、表面微观形貌和晶体缺陷进行了表征。结果表明合成的ZnO纳米棒是六方纤锌矿结构，长径比较高，结晶良好。研究了ZnO纳米棒/单晶Si传感器在空气和酒精气体中的电压-电流(I-V)特性，阻抗谱及响应-恢复时间。该传感器在+6V的偏置电压下，其电阻在0.08g/L酒精气体中下降71%，响应时间小于1min，可以作为一种新型的酒精气体传感器。

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