作者：甘小华,刘民,于海涛,许鹏程,李昕欣 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2010年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2010060090 DOC编号：DOCBDTQ2010060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先，谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能，引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路，并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件。该闭环系统的频率稳定性可达&#177；0.1Hz，并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外，单独设计了嵌入式的频率读出电路，用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起，做出了小巧便携式样机，用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体。

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