《激光微加工制作的微光纤珐-珀加速度传感器》PDF+DOC
作者:俞晓婧,冉曾令,饶云江
单位:华中光电技术研究所;湖北省光学学会
出版:《光学与光电技术》2010年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXGD2010050050
DOC编号:DOCGXGD2010050059
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将157 nm激光微加工制作的微光纤珐-珀腔贴于悬臂梁结构构成加速度传感器。通过设计特定的悬臂梁结构和FFT方法,该加速度传感器的分辨率约为1.13 mg/Hz~(1/2)。通过采用MUSIC算法处理信号,信噪比可提高45 dB,系统分辨率约为3.56×;10~(-2)/Hz~(1/2)。该微光纤珐-珀传感器具有可批量制作、成本低、抗高温、量程灵活等优点,有望应用于石油勘探、地震测量等领域中。
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