《压力传感器厚膜温度补偿技术研究》PDF+DOC
作者:李颖,林洪,王雪冰
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2010年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2010010060
DOC编号:DOCYBJS2010010069
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采用厚膜电路制造技术实现硅基压力传感器的温度补偿,不仅可以使传感器的补偿精度高、补偿温区宽,而且可以使传感器的可靠性、抗震动性、耐高低温冲击性以及传感器的外观品质得以全面提升。文中介绍了压力传感器温度补偿电阻网络的原理、厚膜电路的设计和制造技术、网络阻值调整等方面的研究,通过合理的版图、结构和工艺设计,实现了OEM压力传感器的温度补偿,已在压力传感器产品的生产中得到成功应用。
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