作者：吕海峰,姜澄宇,邓进军,马炳和,苑伟政 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2010年第24期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2010240100 DOC编号：DOCJXXB2010240109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 壁面切应力的测量是流体动力学领域中一项非常重要的测试任务，采用MEMS技术设计、加工的微型切应力传感器能够为壁面切应力的测量提供新的手段。微传感器设计过程中推导其浮动单元线性位移与弹性梁宽度的关系，通过限位装置提高了微传感器的抗过载能力。有限元仿真结果与试验模态分析的最大偏差为8.2%，表明仿真过程中对结构进行的简化以及单元的选取是合理的。加工过程中，采用等离子刻蚀工艺形成传感器的结构，湿法刻蚀工艺完成浮动单元的释放，所加工传感器的整体尺寸为3.4 mm&#215；2.5 mm&#215；0.6 mm。开发了一种封装结构实现传感器与壁面的平齐安装。风洞试验结果说明在0～30 m/s风速范围内传感器的灵敏度为51.2 mV/Pa，该传感器可以用于壁面切应力的测量。

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