作者：杨蒙生,邢丕峰,高党忠,马小军,李朝阳 单位：中国原子能科学研究院 出版：《原子能科学技术》2010年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYZJS2010S11210 DOC编号：DOCYZJS2010S11219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。

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