《高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析》PDF+DOC
作者:吕浩杰,胡国清,邹卫,吴灿云,陈羽锋
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2010年第05期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2010050220
DOC编号:DOCGXJM2010050229
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为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。结果表明,在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入(压力)-输出(电容)特性的影响是线性的,且线性范围内初始压力随温度的升高而降低;当温度载荷为550 K时,双凹槽结构的灵敏度为1.21×;10-6pF/Pa,比传统单凹槽的0.8×;10-6pF/Pa高出50%,表明该压力传感器有着非常优异的高温特性。
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