作者:徐永青,吕树海,徐爱东,徐淑静 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2010年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2010040110 DOC编号:DOCBDTQ2010040119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响》PDF+DOC2020年第02期 袁昌荣,孙中圣,李小宁 《基于双原理的热流量传感器的研究》PDF+DOC2000年第04期 尚丽平,郑德忠,谢华冰,余思源 《CMOS流量传感器的传热特性分析》PDF+DOC1995年第04期 于梅芳,沈克强 《测量流速流向的微型片式流量传感器》PDF+DOC1990年第04期 张洪泉 ,王兵 《基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制》PDF+DOC2012年第05期 李艳杰,齐虹 《MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制》PDF+DOC2011年第03期 吕树海,杨拥军,徐淑静,张旭辉 《FSL1000系列MEMS微量液体流量》PDF+DOC2009年第07期 《基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作》PDF+DOC2006年第02期 刘利娜,贾宏光,王淑荣,吴一辉 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 《把FET用作线性温度传感器》PDF+DOC1997年第07期 J.Jayapandian
  • 针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5~200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。

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