作者：马惠铖,刘骏跃 单位：机械部北京机械工业自动化研究所 出版：《制造业自动化》2010年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGY2010020590 DOC编号：DOCJXGY2010020599 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文主要研究了传统的悬臂梁式SAW加速度传感器差动结构并对其差动方案进行了改进，不仅进一步抑制了温度干扰因素对加速度传感器的影响，而且降低了其加工制作的难度。

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