作者：徐冬,张宁,董玉荣,卫学峰 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2010年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2010110400 DOC编号：DOCCGQJ2010110409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种半导体双轴力传感器的结构设计与工作原理，并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。通过分析，确定了应变计的粘贴部位和应力分布。传感器试验结果表明：该传感器灵敏度优于0.05 V/N，精度达到0.5%FS，零点漂移小于1%FS/h，热零点漂移小于0.5%FS/℃，满足使用要求。

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