作者：邹学锋,沈路,何洪涛 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2010年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2010070120 DOC编号：DOCBDTQ2010070129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对MEMS热膜式传感器的发展趋势和在实用化过程中存在的问题，提出了一种新型的单片电路和体硅MEMS热膜式传感器实现集成制造的嵌入式CMOS工艺技术，解决了MEMS制造工艺和CMOS集成电路工艺之间存在的兼容性问题。通过这种嵌入式CMOS工艺技术，可以实现具备最小体积、最低成本的MEMS器件。通过这种嵌入式热膜式传感器和CMOS处理电路的单片集成制造工艺，实现了一款热膜式传感器和IC放大电路的集成部件，并完成了相关基本电性能测试和传感器功能的演示验证，证明了设计的工艺路线的可行性。

    📙 相关资料

    1. 《浅论MEMS技术发展趋势与应用》PDF+DOC MEMS技术是一门新兴的技术，是多种学科交叉融合的前沿高技术，近年来越来越受到世界各国的重视。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用。...
    2. 《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC 本文论述了MEMS的研究进展、设计思想、主要加工技术及应用前景...
    3. 《电化学传感器卡片测定血清电解质的应用观察》PDF+DOC 应用电化学传感器卡片与本科室自动分析仪对血清电解质测定结果进行比较...
    4. 《带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器》PDF+DOC 带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作......
    5. 《关于压力传感器的鉴定》PDF+DOC 一、线性传感器(下称传感器)的鉴定，有很多指标。下面说的是静态指标： 传感器制成后，它的内在特性就确定了这种关系，用Y=A+BX表证为确定的关系。即输入输出有对应的关系。 由于原材料、制造工艺、侧试仪器、工作方法等不可避免的误差，使固有特性...
    6. 《一种小巧的四反射镜光学系统》PDF+DOC 本文描述一种小巧的四反射镜光学系统的设计分析、另件制造和系统检验。这种光学系统是能够快速冷却的、与扫描常平架连接的小型红外传感器的一个部分。在研制此系统期间，已经出现了许多先进的制造工艺。Honeywell电子一光学系统研究中心利用新的设计分析法和制造铍反射镜的新工艺制成了一种传感器，其像质在很大的......
    7. 《基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介》PDF+DOC 基于微电子机械系统(MEMS)制成的微加速度三分量数字地震检波器，集数据采集、处理及传输功能于一体，在结构模型、工作原理、性能指标控制等方面不同于常规检波器，其信号幅值在低于自然频率范围内没有衰减。因其独特的制造技术，MEMS检波器具有超低噪声，大动态范围和极高的向量保真度性能。...
    8. 《一个单芯片硅微惯性测量组合》PDF+DOC 论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度，从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积上同时包含了三个不同轴向的硅微加速度计和三个不同轴向的硅微陀螺，可对载......
    9. 《军用微电子机械系统的应用及封装》PDF+DOC 扼要介绍微电子机械系统的特征，在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。...
    10. 《Andriod技术在远程健康监护系统中的应用》PDF+DOC 随着我国社会老龄化程度日益严重和独生子女比例的增加以及人们对自身健康的关注，使得健康养老问题越来越为社会所重视。Andriod平台由于其具有兼容性好、源代码全公开、强大的应用层API和丰富的传感器功能等特性，迅速成为移动设备上的主流开发技术。文章尝试将Andriod技术应用于远程健康监测系统中，从而......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。