作者：吴振亭,程传蕊 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2010040190 DOC编号：DOCGNCQ2010040199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 应用大型有限元分析软件ANSYS10.0建立了三轴体微机械电容式加速度传感器的有限元模型，以该模型为基础分析了传感器的前3阶固有频率及其振型。分析表明第一、二阶振型分别影响传感器在X和Y方向上的加速度测量，而第三阶振型则影响传感器在Z方向上的加速度测量，且影响程度较大。分析了传感器挠性轴的宽度、高度、长度和质量块的高度及密度等结构参数对传感器主要性能指标的影响程度，所得分析结果可为传感器的减振设计和进一步的优化设计提供理论依据。

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