作者:陈勤,曹赞,李艳梅 单位:中国电子技术标准化研究所 出版:《信息技术与标准化》2010年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZBZ2010060310 DOC编号:DOCDZBZ2010060319 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS传感器的标准化现状与发展对策》PDF+DOC2007年第08期 陈勤,范树新,张维波 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS在电气设备中应用探讨》PDF+DOC2003年第10期 康明才,吴军基,黄锦安 《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC2008年第03期 刘成刚 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《气象微系统中传感器的温度补偿》PDF+DOC2003年第03期 周再发,黄庆安,秦明,张中平 《基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真》PDF+DOC2003年第Z1期 裴强,夏善红,龚超,白强,陈绍凤 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC2002年第10期 陈克铭 《物联网核心技术专利态势分析——以MEMS技术为例》PDF+DOC2012年第05期 张运鸿,张善杰 《MEMS传感器及其在航空领域的应用》PDF+DOC2014年第04期 樊建勋
  • 随着MEMS技术的发展,MEMS传感器的应用越来越广泛,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。针对MEMS传感器特点,研究了标准质量评定方法,在电子元器件质量评定方法基础上,提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议。

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