《MEMS传感器标准质量评定方法探讨》PDF+DOC
作者:陈勤,曹赞,李艳梅
单位:中国电子技术标准化研究所
出版:《信息技术与标准化》2010年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZBZ2010060310
DOC编号:DOCDZBZ2010060319
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随着MEMS技术的发展,MEMS传感器的应用越来越广泛,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。针对MEMS传感器特点,研究了标准质量评定方法,在电子元器件质量评定方法基础上,提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议。
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