作者：朱万彬 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》2010年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX2010100250 DOC编号：DOCGJDX2010100259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 激光位移传感器对位移的测量不仅是非接触式的测量方式，而且具有较高的精度，具有广泛的应用。本文研究了一种利用激光位移传感器测量工件上点的二维坐标，从而实现物体形状的高精度测量。通过一维电位移平台带动激光位移传感器扫描物体的表面，然后对测量的数据进行处理，进而得到物体的表面形貌。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm，一维电位移平台重复定位精度高于2μm。

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