作者:张洪泉,乔英杰,汪洋,范茂军 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2010年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2010060220 DOC编号:DOCCGQJ2010060229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《利用MEMS技术的乙炔传感器研究》PDF+DOC2010年第S1期 祁欣,周明军,张洪泉 《可燃气体传感器研究进展》PDF+DOC2010年第05期 宋小坚 《一种多功能接触燃烧传感器测试模块的介绍》PDF+DOC2015年第08期 徐洁,郑淳,赵大力,刘天庆 《氧化钨纳米纤维的制备及其对H_2S的气敏特性》PDF+DOC2017年第09期 杨洁,张萌,邵燕,孙永娇,位子涵,胡杰 《文摘》PDF+DOC1983年第03期 刘忠玉 《利用数字化实验技术进行中学生物实验教学》PDF+DOC 黄玮 《瓦斯探测器零点校正技术的研究》PDF+DOC2012年第04期 于春雨,潘春鹤,于晓霞,张光臻 《新型固体电解质SO_2传感器的研制》PDF+DOC2008年第05期 梁喜双,钟铁钢,陈丽华,王彪,全宝富 《一种压缩待测气体增强气体传感的方法》PDF+DOC2014年第11期 邓积微,王太宏,蔡勇 《传感器技术在机电一体化专业中的应用》PDF+DOC 张会明
  • 提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3—ZrO2—ThO2—Pt—Pd和Al2O3—ZrO2—ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器。测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0~15)×10-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性。同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究。

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