作者：刘宇,鞠文斌,刘羽熙 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2010040040 DOC编号：DOCHKJC2010040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况，总结了其分类方法、工作原理及特点，并提出发展趋势。

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