作者：王力,杜晓松,胡佳,蒋亚东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第10期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011100060 DOC编号：DOCBDTQ2011100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一，采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离柱与传统分离柱相比，因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐。对MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展进行了综述，将硅基底材料制作的分离柱结构分为螺旋型、直线型、蛇型和阵列型，重点从组分分离时间、分辨率和理论热塔板数等方面对微型色谱分离柱的各种结构进行了综合分析和比较，并介绍了新兴工艺制作的镍基底、聚合物基底和PECVD薄膜基底的微型气相色谱分离柱。

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