作者：王雨化,侯中宇,回兵,徐东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011010040 DOC编号：DOCBDTQ2011010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构，使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极，在电极上电泳多壁碳纳米管，采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层。在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直流放电基本特性。实验结果表明，在几伏特的直流加载电压下即可检测到纳安量级的放电电流，并且放电电流对人体呼吸和环境气体变化有明显响应。放电起始电压小于10V并显现出明显的抑制电流自由增长的DBD放电特征，但电流下降持续时间达102～103s量级，大于常规常压DBD时间，显示出碳纳米管尖端的特异效应。

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