作者：王海燕,陈红彦,胡青飞,孟晓波,韩昌报,李新建 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011050020 DOC编号：DOCCGJS2011050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以硅纳米孔阵列(S i-NPA)为衬底，采用化学气相沉积法分别制备了S iC纳米颗粒/S i-NPA(nc-S iC/S i-NPA)和S iC纳米线/S i-NPA(nw-S iC/S i-NPA)复合体系，并对其表面成分和形貌、室温湿敏性能进行了表征。实验结果表明，nc-S iC/S i-NPA和nw-S iC/S i-NPA均对水蒸气表现出灵敏的电容响应。当环境相对湿度从11%增加到95%，在100 Hz的测试频率下nc-S iC/S i-NPA的电容增加了750%，而nw-S iC/S i-NPA的电容增加了1050%。通过升湿和降湿动态过程，测得nc-S iC/S i-NPA的响应和恢复时间均为10 s，nw-S iC/S i-NPA的响应和恢复时间分别为100 s和150 s。分析表明，nc-S iC/S i-NPA、nw-S iC/S i-NPA对湿度的高度敏感性主要源于nc-S iC、nw-S iC所引起感应面积的巨大增加，而其较短的响应和恢复时间则归因于阵列结构为水蒸气提供了有效的传输通道。

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