作者：黄沛,郑方燕,冯济琴,陈自然 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015070060 DOC编号：DOCCGJS2015070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 纳米时栅利用正交变化电场构建的运动参考系进行测量，激励信号精度直接影响运动参考系匀速性，进而影响测量精度。针对纳米时栅需要高精度激励信号的要求，设计了一种采用闭环控制结构的高精度激励信号源，该信号源采用单片FPGA实现总体控制，完成采集控制、数据处理和波形数据产生等功能，利用16位高精度数据转换器构建信号发生电路及反馈电路，保证了对信号的精确控制。测试结果表明：输出正弦信号幅值精度为0.01%，相位精度为0.1%，并将纳米时栅原始精度从1.4μm提高至0.9μm。

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