作者：王世华,陈秀玲,徐淦 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2011年第09期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2011090410 DOC编号：DOCGXJM2011090419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高精度电容式位移传感器校准方法的研究》PDF+DOC2015年第01期 郑志月,施玉书,高思田,李东升,李伟,李适,李庆贤 《纳米位移传感器最小检测信号评述》PDF+DOC1998年第01期 王佳,路刚 《纳米级分辨率的光纤位移传感器的设计和建模》PDF+DOC1997年第03期 D.Wang,Y.alayli,M.Bonis,吴宇列 《纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法》PDF+DOC1996年第03期 吴一辉,王立鼎 《纳米级精密机械的设计及特性》PDF+DOC1997年第03期 Ying Xu,P.D.Atherton,M.McConnell,T.R.Hicks,雍玲 《基于白光干涉的纳米级生物膜层厚度测试的研究》PDF+DOC2004年第01期 孙艳,杨玉孝,谭玉山 《纳米级正弦振动幅相特性测量技术的研究》PDF+DOC2004年第02期 孙桥,于梅 《美科学家用红外线移动芯片上的微粒》PDF+DOC2007年第12期 《利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征》PDF+DOC2007年第04期 郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐 《全自动在线六维纳米测量系统》PDF+DOC2013年第01期 胡凯,侯文玫,句爱松,董洪波,杨召雷

    • 纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中，通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度，本文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作，阐述了校正测试系统的布局以及线位移和角度位移的校正测试原理。通过实验成功地对移动线位移320μm的纳米平台进行了校正，实验数据表明，该平台的偏摆最大角位移为3.5″。另外，对该校正系统进行了测量不确定度分析，在覆盖因子k=2时，它的扩展不确定度为(1.8+1.23&#215；10-2 L)nm，测试长度L的单位是μm，由此显示该系统可有效评价纳米平台的移动性能。

    📙 相关资料

    1. 《高精度电容式位移传感器校准方法的研究》PDF+DOC 介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置，利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移，同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测......
    2. 《纳米位移传感器最小检测信号评述》PDF+DOC 综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度。通过传感方法和传感结构，运用统一的模型进行定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。...
    3. 《纳米级分辨率的光纤位移传感器的设计和建模》PDF+DOC 本文介绍了一种光纤纳米级分辨率的非接触式测量系统。对实验的设置、噪声和时频响应进行了具体介绍和分析。实验设置包括一项减小激光源波动的技术。并用一个分辨率为1.25nm的激光干涉仪(AXIOM2/20)来监控的线性低电压压电陶瓷驱动台进行标定。光纤传感器具有从50到150μm稳定的准线性测量范围。...
    4. 《纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法》PDF+DOC 总结了近年来用ＰＺＴ致动器进行纳米线性定位控制的方法，对其特点和局限性进行了分析，并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。...
    5. 《纳米级精密机械的设计及特性》PDF+DOC 最近，Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械，它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中，将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术，以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。...
    6. 《基于白光干涉的纳米级生物膜层厚度测试的研究》PDF+DOC 提出了利用光学干涉原理在光纤传感器端面上直接测量生物免疫反应的方法 ，能够测试到纳米级厚度生物膜层的亚纳米级厚度增加量。将生物膜 (如抗原 )固定在光纤探针端面上 ，入射光在光纤—生物层、以及生物层—空气的界面处两次反射 ，由于两束反射光之间存在光程差 ，所以产生干涉现象 ，通过分析干涉谱线可以测量......
    7. 《纳米级正弦振动幅相特性测量技术的研究》PDF+DOC 概述外差激光干涉测量技术的基本原理和特点 ，针对马赫—泽德外差式激光干涉仪在绝对法振动校准技术中的应用 ，介绍测量系统的构架以及完成数据采集和信号处理的虚拟仪器技术。详细介绍了测量系统频移变换部分和数字信号处理部分的组成原理和技术实现 ，论述了其中数据采集、数字解调、曲线拟合等技术难点。本文描述的这......
    8. 《美科学家用红外线移动芯片上的微粒》PDF+DOC 美国科学家发明了一种利用光在微型芯片上捕获并移动微小粒子的方法，可能会帮助制造出微型生物传感器和其它精密的纳米仪器。...
    9. 《利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征》PDF+DOC 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法，利用ISO5436-1：2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明，该方法具有无损、快速和易......
    10. 《全自动在线六维纳米测量系统》PDF+DOC 介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法，可以避免激光干涉仪的非线性影响，使系统能够得到准确校准，达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度，三维直线运动测量范围为100μm&#215；100μm&#215；100μm，分辨率能够达到1n......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。