作者：禹忠,蒋庄德,李蓉,王海容 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2010年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2010040090 DOC编号：DOCBDTG2010040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了缩短传感器尺寸，提高耦合效率，提出了一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波(ARROW)压力传感器。该传感器为一个金属分割的层叠ARROW结构以及两个3dB垂直耦合器组成的Mach-Zehnder干涉仪。利用有限元方法(FEM)研究、分析了硅弹性膜片应力分布，确定传感器的结构设计参数。使用BPM分析由光弹性效应引起输出变化及其与压力之间的关系。结果表明，该传感器可通过调整垂直耦合器的长度来调节耦合效率，无需弯曲波导，可降低器件尺寸，实现压力检测。

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