作者：郭鑫,杨鹏飞,张海岩,彭春荣,夏善红 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010060070 DOC编号：DOCCGJS2010060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程，主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连，为了避免粘连现象的产生，采用了不同的干燥方法，如蒸发干燥法、CO2临界点干燥法、自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。对不同干燥方法制备的热驱动微型电场传感器的性能进行了测试，得到自组装膜法制备的热驱动微型电场传感器具有更好的灵敏度。

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