《用于硅片传输系统的机械手设计》PDF+DOC

介绍了用于硅片传输系统的机械手发展现状，主要针对300 mm全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计，对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线中其他工艺设备的应用，对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。

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